工業(yè)廢氣處理中監(jiān)測與分析技術主要包括以下幾種：

1、氣體濃度監(jiān)測技術：通過安裝氣體濃度傳感器等設備，對工業(yè)廢氣中的有害物質濃度進行實時監(jiān)測，以便及時采取控制和治理措施。

2、氣質聯(lián)用技術：將氣體色譜儀和氣質聯(lián)用儀等設備組合使用，可以對廢氣中的各種有害物質進行快速、準確的定性和定量分析。

3、大數(shù)據分析技術：通過對工業(yè)廢氣處理過程中的數(shù)據進行分析，可以優(yōu)化廢氣處理工藝和控制策略，提高廢氣處理效率和質量。

4、人工智能技術：利用人工智能技術，可以對工業(yè)廢氣處理過程進行預測和優(yōu)化，以提高廢氣處理的精度和效率。

5、光學檢測技術：利用激光光譜儀、紅外光譜儀等設備，對工業(yè)廢氣中的有害物質進行非破壞性檢測和分析，可以提高廢氣處理的質量和效率。

總之，工業(yè)廢氣處理中監(jiān)測與分析技術是確保廢氣處理效果和環(huán)保排放的重要手段，需要根據實際情況選擇合適的技術和設備進行應用。